第3章

第1節

  1. A. Charlesby, Proc. R. Soc., Ser. A, 1952, 215, 187
  2. Chemical and Engineering News, 1948, 26, 2289
  3. 例えば、P.J. Flory, "Statistical Mechanics of Chain Molecules", 1969, John Wiley and Sons, Inc., New York
  4. A. Charlesby, Proc. R. Soc., A, 1954, 222, 60
  5. A. Charlesby, Proc. R. Soc., A, 1954, 224, 120
  6. O. Saito, J. Phys. Soc. Jpn., 1958, 13, 145.
  7. O. Saito, J. Phys. Soc. Jpn., 1959, 14, 798
  8. M. Inokuti, J. Chem. Phys., 1960, 33, 1607
  9. M. Inokuti, J. Chem. Phys., 1963, 38, 2999
  10. Y.F. Zhang, X.W. Ge, J.Z. Sun, Radiat. Phys. Chem, 1990, 35, 163
  11. K. Olejniczak, J. Rosiak., A. Charlesby, Radiat. Phys. Chem. 1990, 37, 499
  12. 教科書として例えば, G.R. Strobl, "The Physics of Polymers", 1996, Springer, Verlag-Berlin-Heidelberg
  13. I. Janik, P. Ulanski, K. Hildenbrand, J.M. Rosiak, C. von Sonntag, J. Chem. Soc., Perkin Trans. 2000, 2, 2041
  14. I. Janik, E. Kasprzak, A. Al-Zier, J.M. Rosiak Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 2003, 208, 374
  15. Y. Tabata S. Ikeda and A. Oshima, Nucl. Instr. and Meth. B, 185, 169-174, 2001
  16. A. Charlesby, "Atomic Radiations and Polymers", Pergamon Press, Oxford, 1960
  17. 萩原幸, 原子力工業, 24, 63, 1978
  18. 山岡仁史, 田川精一, 原子力学会誌, 26, 739, 1984
  19. 田川精一, 高分子, 1996, 45, 782
  20. T. Seguchi, Reports of Japan Atomic Energy Research Institute, 1977, JAERI-M 7394
  21. A. Chapiro, "Radiation Chemistry of Polymeric System", Wiley Interscience, New York, 1962
  22. K. Ema, Y. Kawakami, H. Nishioka, T. YamamotoJ. Nucl. Sci. Technol., 27, 1028, 1990
  23. K. Ema, Y. Izumi, Y. Kawakami, T. Yamamoto, Radiat. Phys. Chem., 38, 1991
  24. K. Ema, Y. Izumi, Y. Kawakami, H. Isogai, Y. Hamada, J. Hirokawa, Y. Kusumi, T. Yamamoto, “Effects of Atmospheric Hydrogen on the Radiolysis of Polyethylene” Proceedings of the International Symposium on Material Chemistry in Nuclear Environment, pp365-374, March 14-15, 1996, Tsukuba, Japan
  25. 雨宮綾夫編, 放射線化学入門, 上下巻, 丸善株式会社, 1962
  26. W. K. Busfield, J. V. Hanna, Polym. J., 1991, 23, 1253
  27. Y. Tabata, A. Oshima, Macromolecular Symposia, 143, 337-358, 1999
  28. A. Oshima, S. Ikeda, H. Kudoh, T. Seguchi, Y. Tabata, Radiat. Phys. Chem., 50, 611-615, 1997
  29. H. Kudoh, N. Kasai, T. Sasuga, T. Seguchi, Radiat., Phys. Chem., 43, 32, 1994
  30. H. Kudoh, N. Kasai, T. Sasuga, T. Seguchi, Radiat. Phys. Chem., 48, 89, 1996
  31. H. Kudoh, N. Kasai, T. Sasuga, T. Seguchi, Radiat. Phys. Chem., 48, 95, 1996
  32. H. Kudoh, N. Kasai, T. Sasuga, T. Seguchi, Radiat. Phys. Chem., 48, 69, 1996
  33. J. R. Brown and J. H. O’Donnell, J. Appl. Polym, Sci., 23, 2763, 1979
  34. R. W. Garrett, D. J. T. Hill, T. T. Le, K. A. Milne, J. H. O’Donnell, M. C. S. Perera, P. J. Pomery (1991) “Temperature Dependence of the Radiation Chemistry of Polymers” ACS SYMPOSIUM SERIES 475, Chap.10, pp146-155, ACS, Washington, DC, 1991
  35. D. J. T. Hill, D. A. Lewis and J. H. O’Donnell, J. Macromolecular Sci., A29, 11, 1992
  36. Y. Tabata, A. Oshima, K. Takashika, T. Seguchi, Radiat. Phys. Chem., 48, 563-568, 1996
  37. K. Takashika, A. Oshima, M. Kuramoto, T. Seguchi, Y. Tabata, Radiat. Phys. Chem., 55, 399-408, 1999
  38. B. Fei, R. A. Wach, H. Mitomo, F. Yoshii, T. Kume, J. Appl. Polym Sci., 78, 278-283, 2000
  39. R. A. Wach, H. Mitomo, N. Nagasawa, F. Yoshii, Radiat. Phys. Chem., 68, 771-779, 2003
  40. R. A. Wach, H. Mitomo, N. Nagasawa, F. Yoshii, Nucl. Instr. and Meth. B, 211, 533-544,2003
  41. L. Zhao, H. Mitomo, N. Nagasawa F. Yoshii, T. Kume, Carbohydrate Polym. 51, 169-175,2003
  42. N. Nagasawa, T. Yagi, T. Kume, F. Yoshii, Carbohydrate Polym. 58, 109-113, 2004
  43. N. Nagasawa, H. Mitomo, F. Yoshii, T. Kume, Polymer Degradation and Stability, 69, 279-285. 2000
  44. S. Seki, K. Kanzaki, Y. Kunimi, S. Tagawa, Y. Yoshida, H. Kudoh, M. Sugimoto, T. Sasuga, T. Seguchi, H. Shibata, Radiat. Phys. Chem. 50, 423,1997
  45. Yates B. W., Shinozaki D. M. J. Polym. Sci. 31,1779, 1993
  46. K. Takashika, A. Oshima, M. Kuramoto, T. Seguchi, Y. Tabata, Radiat. Phys. Chem., 55, 399-408, 1999
  47. S. Seki, H. Shibata, H. Ban, K. Ishigure, S. Tagawa, Radiat. Phys. Chem., 48, 539-544, 1996
  48. T. Seguchi, Radiat. Phys. Chem. 57, 367-371, 2000
  49. F. Yoshii, D. Darwis, H. Mitomo, K. Makuuchi Radiat. Phys. Chem., 57, 417-420, 2000
  50. N. Nagasawa, H. Mitomo, F. Yoshii, T. Kume, Polymer Degradation and Stability, 69, 279-285, 2000

第2節

  1. 幕内恵三, ポリマーの放射線加工, 2000, ラバーダイジェスト社
  2. 相馬純吉他訳, 基礎放射線化学, 1972, 化学同人
  3. S. Egusa, Y. Tabata, S. Arai, A. Kira and M. Imamura, J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed., 1978, 16, 729, 田畑米穂, 放射線化学, 1987, 東京大学出版会
  4. 須郷高信他, 原子力学会誌, 2001, 43 （10）, 76
  5. 河津秀雄, 放射線と産業, 1996, 70号, 58

第3節

参考文献なし

第4節

参考文献なし

第5節

  1. 微細加工及びレジストの一般的参考書として
    (a) "Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs", edited by K. Suzuki, S. Matsui and Y. Ochiai, Cambridge University Press, Cambridge (2000)
    (b) "超微細加工技術" edited by 徳山巍, オーム社, 東京 (1997)
    (c) 津田穣, "超 LSI レジストの分子設計", 共立出版, 東京 (1990)
  2. International Technology Roadmap for Semiconductors 2003 Edition published by Semiconductor Industry Association (SIA) et al
  3. H. J. Levinson, “Principles of Lithography”, SPIE, Bellingham , Washington (2001)
  4. (a) H. G. Craighead, R. E. Howard, L. D. Jackel and P. M. Mankiewich, Appl. Phys. Lett., 42, 38 (1983)
    (b) W. Chen and H. Ahmed, J. Vac. Sci. Technol., B11, 2519 (1993)
    (c) S. Yashi, D. G. Hasko and H. Ahmed, Appl. Phys. Lett., 78, 2760 (2001)
    (d) D. R. S. Cumming, S. Thoms, S. P. Beaumont and J. M. R. Weaver, Appl. Phys. Lett., 68, 322 (1996)
  5. H. Ito and C. G. Willson, Polym. Eng. Sci., 23, 1012 (1983).
  6. (a) R. Shimizu, T. Ikuta, T. E. Everhart and W. J. DeVore, J. Appl. Phys., 46, 1581 (1975)
    (b) M. Khoury and D. K. Ferry, J. Vac. Sci. Technol., B14, 75 (1996)
    (c) E. A. Dobisz, S. L. Brandow, R. Bass and J. Mitterender, J. Vac. Sci. Technol., B18, 107 (2000)
    (d) D. G. Hasko, S. Yasin and A. Mumtaz, J. Vac. Sci. Technol., B18, 3441 (2000)
  7. (a) T. Kozawa, A. Saeki, A. Nakano, Y. Yoshida, S. Tagawa, J. Vac. Sci. Teahnol. B21, 3149 (2003)
    (b) A. Saeki, T. Kozawa, Y. Yoshida, S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 41, 4213 (2002)
    (c) T. Kozawa, A. Saeki, Y. Yoshida, S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 41, 4208 (2002).
  8. (a) A. R. Shultz, J. Polym. Sci., 35, 369 (1959)
    (b) A. Todd, J. Polym. Sci., 42, 223 (1960)
    (c) S. K. Ho and S. Siegel, J. Chem. Phys., 50, 1142 (1969)
    (d) C. David, D. Fuld and G. Geuskens, Makromol. Chem., 139, 269 (1970)
    (e) G. Geuskens and C. David, Makromol. Chem., 165, 273 (1973)
    (f) G. David, F. D. bie and G. Geuskens, Makromol. Chem., 176, 3493 (1975)
    (g) M. Ogasawara, M. Tanaka and H. Yoshida, J. Phys. Chem., 91, 937 (1987)
    (h) M. Szadkowska-Niceze, M. Kisza and J. Mayer, J. Polym. Sci., PartA : Polym. Chem., 35, 299 (1997)
    (i) M. Szadkowska-Niceze and J. Mayer, J. Polym. Sci., PartA : Polym. Chem., 36, 1209 (1998)
    (j) M. Szadkowska-Niceze and J. Mayer, J. Polym. Sci., PartA : Polym. Chem., 39, 4110 (2001)
    (k) M. Szadkowska-Niceze and J. Mayer, Res. Chem. Intermed., 27, 823 (2001)
    (l) A. Torikai, H. Kato and Z. Kuri, J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed., 14, 1065 (1976).
    (m) A. Torikai and H. Mishina, J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed., 19, 2297 (1981)
    (n) T. Ichikawa and H. Yoshida, J. Polym. Sci., PartA : Polym. Chem., 28, 1185 (1990)
    (o) M. Tanaka, H. Yoshida and T. Ichikawa, Polym. J., 22, 835 (1990)
    (p) T. Ichikawa, K. Oyama, T. Kondho and H. Yoshida, J. Polym. Sci., PartA : Polym. Chem., 32, 2487 (1994)
    (q) A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 4363 (2004).
  9. (a) R. J. Hawryluk, A. M. Hawryluk and H. I. Smith, J. Appl. Phys., 45, 2551 (1974).
    (b) M. Parikh and D. F. Kyser, J. Appl. Phys., 50, 1104 (1979).
    (c) K. Murata, D. F. Kyser and C. H. Ting, J. Appl. Phys., 52, 4396 (1981)
  10. (a) T. Kozawa, Y. Yoshida, M. Uesaka and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 31, 4301 (1992)
    (b) T. Kozawa, S. Nagahara, Y. Yoshida and S. Tagawa, J. Vac. Sci. Technol. B15, 2582 (1997)
    (c) S. Tagawa, S. Nagahara, T. Iwamoto, M. Wakita, T. Kozawa, Y. Yamamoto, D. Werst and A. D. Trifunac, Proc. SPIE, 3999, 204 (2000)
    (d) H. Yamamoto, T. Kozawa, A. Nakano, K. Okamoto, Y. Yamamoto, S. Tagawa, T. Ando, M Sato and H. Komano, Jpn. J. Appl. Phys., 43, L848 (2004)
    (e) H. Yamamoto, A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 3971 (2004)
    (f) A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 3981 (2004).

第4節

参考文献なし