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第12回 Cat-CVD研究会
■日程
2015年7月3日（金）〜4日（土）
■場所
名古屋大学大学院工学研究科 ES館 ES会議室
■テーマ・内容
以下のCat-CVD技術について，基礎から応用まで幅広く議論します。
(1) ガスの分解過程，気相反応，触媒体材料
(2) Cat-CVD，Hot-Wire装置開発
(3) 堆積膜の基礎物性および評価
(4) ラジカル処理
(5) デバイス応用
(6) 新分野・新展開 など
■詳細
最終更新日： 2015年3月24日
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第12回 Cat-CVD研究会 ■日程
■場所
■テーマ・内容
■詳細 | |
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最終更新日： 2015年3月24日 |
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